GB∕T 36370-2018 洁净室及相关受控环境 空气过滤器应用指南 全文免费下载

　　1范围

　　本标准给出了洁净室及相关受控环境的空气过滤器效率分级和各种过滤器的应用要素。 本标准适用于洁净室及相关受控坏境中使用的空气过滤器。

　　2规范性引用文件

　　下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文 件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。

　　GB/T 25915.3—2010洁净室及相关受控坏境第3部分:检测方法

　　GB/T 25915.6-2010洁净室及相关受控坏境 第6部分:词汇(ISO 14644-6：2007,IDT)

　　ISO 29463-1：2011高效率空气过滤器和滤材 第1部分:分级、性能试验、标识(High-efficiency filters and filter media for removing particles in ail*—Part 1: Classification, performance testing and marking)

　　ISO 29463-2:2011高效率空气过滤器和滤材 第2部分:气溶胶发生、测量装置、粒子计数统计 学方法(High-efficiency filters and filter media for removing particles in air—Part 2: Aerosol production, measuring equipment and particle-counting statistics)

　　3术语和定义

　　GB/T 25915.6-2010界定的以及下列术语和定义适用于本文件。

　　3.1　　空气过滤器air filter

　　用于清除气流中悬浮颗粒物和某些气相污染物的过滤器。

　　3.2　　效率 efficiency

　　试验条件下,过滤器或过滤材料捕集粒子的计数率与上游粒子计数率的比值,或滤除质量浓度与上 游质量浓度的比值,以%表示。

　　3.3　　穿透率 penetration

　　试验条件下,过滤器下游粒子浓度与上游浓度的比值,以%表示。

　　3.4　　最易穿透粒径 most-penetrating particle size;MPPS

　　对给定过滤器穿透率最高(过滤效率最低)的粒子粒径。

　　注:即最难过滤粒子的粒径。理论上讲,大于或小于MPPS料子的过滤效率都岛于MPPS处的效率;实际应川中, 过滤器的MPPS是仪器测就的一个粒径范闱，而不是某个唯一粒径。

　　3.5　　MPPS 效率 minimam filter efficiency 试验条件下,过滤器效率曲线的最低点,即对应MPPS处的效率值。

　　3.6　　亚高效过滤器 sub-HEPA filter

　　Y-HEPA 过滤器 Y-HEPA filter

　　EPA 过滤器 EPA filter

　　试验风量下MPPS效率低于99.95%但不低于85%的过滤・器。

　　3.7　　高效过滤器 high-efficiency-particulate-air

　　HEPA 过滤器 HEPA filter

　　ISO 35 H级〜ISO 45 H级,试验风量下MPPS效率低于99.999%但不低于99.95%的过滤器。

　　3.8　　超高效过滤器 iiltrA. low-penetration-air

　　ULPA 过滤器 ULPA filter

　　ISO 50 U级利更高级别过滤器,试验风量下MPPS效率不低于99.999%的过滤・器。

　　3.9　　钠焰法 sodium flame

　　检测过滤效率的•种方法。在过滤器上游发/特定质量中径与特定粒径分布的氯化钠气溶胶、利 用火焰光度计测童过滤器上下游含钠气溶胶火焰特征强度,以确定过滤效率。

　　注:又称“火焰光度计法”。

　　3.10　　浊度计法 photometer method

　　在过滤器上游发/特定质量中径与特定粒径分布的液态或固态气溶胶、利用光散射原理光度计测 量过滤器上下游气溶胶质量浓度,以确定过滤效率的-种方法。

　　注:又称“光度计法”。常用浊度计法冇:传统的DOP法、油雾法等。

　　3.11　　净化单元 fan filter nnit;FFU

　　将HEPA或ULPA过滤器、静压箱、风机、风速调整装置集成在・起的过滤装置。

　　注:又称“风机过滤单元”。

　　3.12　　预过滤器prefilter

　　为保护下一级过滤器并延长其使用寿命而设置的过滤器。

　　注:又称“前置过滤器”。

　　3.13　　释气 organic outgas

　　过滤器制造材料可能释放的气态化合物。

　　3.14　　末端过滤器 terminal filter

　　送风系统的最后・级空气过滤器。

　　3.15　　吸附容星capacity

　　在气相空气净化设备中的过滤介质所能容纳的指定吸附质的数量(质量或摩尔数)。

　　注:在解吸过程中称解吸容燉。

　　3.16　　去 除效 率 removal efficiency

　　空气化学过滤器在规定的试验时间内,去除气相污染物的百分数(%)或其浓度分数。

　　3.17　　压カ降 differential pressure

　　空气化学过滤器前后两端的压力差。

　　3.18　　保持能力retentivity

　　衡量吸附剂或化学过滤器抗解吸能力的参数,用剩余容童(残留分数)来表达。

　　3.19　　聚四氟乙烯拉延膜滤材ePTFE media

　　由聚四氟乙烯薄膜和其他辅助材料复合形成的滤材。其中,起过滤作用的材料为聚四氟乙烯拉延 形成的纤维状多孔薄膜。

　　注:制作局效过滤器的聚四氣乙烯薄膜厚度约1〇ドm〜20卩m,纤维任径仅冇数十纳米,因此冇时称“膜过滤”材料或 “纳米过滤”材料。

　　3.20　　驻极体滤材 electrete media

　　能够长期贮存电荷的高分子过滤材料。

　　4效率分级

　　空气过滤器效率分级参见附录A。对于髙效率空气过滤器的过滤性能,本标准采用ISO 29463-1; 2011规定的等级,参见A.1。

　　5普通过滤器

　　5.1.1普通过滤器分为粗效、中效、高中效、亚高效、高效和超高效。在净化空调系统中粗效、中效、高 中效作为预过滤器,保护其后的各种部件的功能和保护高效过滤器利超高效过滤器。

　　5.1.2高效和超髙效过滤器的功能和作用是保证生产丁・艺对坏境所要求的洁净度等级,要将其设豈在 系统的末端。

　　5.2末端高效率过滤器

　　5.2.1过滤效率

　　通常,ISO 6级以及更低级别的非单向流洁净室,末端过滤器的过滤效率不低于ISO 35 H级(对最 易穿透粒径粒子的过滤效率不低于99.95%)。若用户与供货商协商同意,也可以使用钠焰法、气溶胶浊 度计法或其他方法,其最低效率不低于99.97%或其他约定值。

　　ISO 5级洁净室的末端过滤器的过滤效率不低于ISO 40 H级(对最易穿透粒径粒子的过滤效率不 低于99.99%)。若用户与供货商协冏同意,也可以使用对0.3 pm粒子效率不低于99.99%的过滤器。

　　ISO 4级以及更高级别洁净室,末端过滤器•般采用ULPA过滤器,其过滤效率不低于ISO 50 U 级(MPPS处过滤效率不低于99.999%) 〇

　　5.2.2出厂检测

　　效率规格不低于!SO 35 H级的髙效率过滤器,出厂前应经过逐台检测。

　　效率或穿透率的出厂检测方法由顾客与供货商协商确定。附录B给出可能的检测方法。若无特 别约定,应采用ISO 29463-2:201!规定的粒子计数法。

　　注:顾客与供货商宜约定具体试脸方法,是采用扫描法,还是采川总效率法,并约定试验中所川粒子测燉装蚩、试验 气溶胶、试验规程和脸收限值。